適用于硅片/晶圓/藍寶石/砷化鎵/鍺片等半導體材料的RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金屬離子清洗、及顆粒物去除等
可根據(jù)工藝需要裝配聚偏氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)、石英(quartz)、不銹鋼(SUS)、聚丙烯(PP)、聚氯乙烯(PVC)等化學溶劑槽、超聲/兆聲清洗槽、QDR(噴淋、快排、鼓泡、溢流、快速注水)清洗槽、DIW清洗槽等。
通過PLC、觸摸屏、伺服電機、進口導軌絲杠實現(xiàn)全自動控制。
設備可裝配機械手,并可實現(xiàn)自動供液、循環(huán)過濾、機械拋動、排風系統(tǒng)、安全防護門、自動滅火裝置、漏液檢測等功能。
可根據(jù)客戶需求定制。