設(shè)備名稱

單片清洗機(jī)

用途

晶圓、掩膜版的清洗和甩干

操作方式

自動

適用領(lǐng)域

半導(dǎo)體材料、集成電路、MEMS、LED芯片、功率器件等

適用工藝

晶圓的RCA清洗、兆聲清洗和甩干

清洗方式

旋流式?jīng)_洗噴嘴，兆聲DIW清洗

可清洗尺寸

2吋--12吋晶圓

真空值

顯示屏同步顯示，可達(dá)≤-90KPa

兆聲清洗

兆聲頻率280-950KHz可選，功率可調(diào)；

伺服電機(jī)

采用進(jìn)口專用旋轉(zhuǎn)電機(jī)，運(yùn)行安靜平穩(wěn)，0- 3500RPM+轉(zhuǎn)/秒加速僅需0.5秒

真空吸盤

采用PEEK、PTFE材質(zhì)，強(qiáng)度高、耐腐蝕、密封性能好

載片臺

采用真空吸附+PIN定位，防止甩片碎片

主體材質(zhì)

不銹鋼、PP、PVC

槽體材質(zhì)

不銹鋼、PP、PVDF

安全防護(hù)

自動安全門、漏液報警、聲光報警系統(tǒng)

模塊化設(shè)計

滿足客戶多種工藝及產(chǎn)能的定制化要求

可編程菜單，方便用戶操作，直觀

實(shí)時流程顯示，可控性強(qiáng)

多級密碼，方便管理，安全可靠

自動保存生產(chǎn)數(shù)據(jù)

可實(shí)現(xiàn)功能

可裝配裝取片機(jī)器人

可配置滾刷刷洗；

化學(xué)液及純水自動供應(yīng)，流量可視可調(diào)

可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制